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本发明公开了一种金属氧化物透明导电膜层表面处理方法，包括：采用微波等离子源将第一工艺气体激发为第一等离子体，对金属氧化物透明导电膜层进行第一表面处理，以提高金属氧化物透明导电膜层的欧姆接触效果；采用微波等离子源将第二工艺气体激发为第二等离子...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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