温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种成膜装置，包括：处理腔室；工艺腔室，设置于所述处理腔室内，所述处理腔室与所述工艺腔室之间设置有连通件，所述处理腔室与所述工艺腔室通过所述连通件连通，所述连通件朝向所述工艺腔室的一端角度可调；载具组...
该专利属于重庆康佳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆康佳光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。