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半导体结构及其形成方法、存储器技术
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文档序号:42081029
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本公开是关于半导体技术领域,涉及一种半导体结构及其形成方法、存储器,本公开的形成方法包括:提供衬底,衬底包括掺杂区;在衬底的表面形成介质层,介质层具有露出掺杂区的接触孔;在接触孔的底部形成接触层;在接触层的表面形成势垒调节层;对势垒调节层进...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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