下载集成电路器件的技术资料

文档序号:42077163

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一种集成电路器件包括:后布线结构;绝缘衬底,设置在所述后布线结构上并且包括在第一水平方向上延伸的鳍结构;器件隔离层,设置在所述鳍结构之间;下绝缘层,覆盖所述鳍结构;栅极结构,在与所述第一水平方向交叉的第二水平方向上延伸;多个纳米片堆叠件,设...
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