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一种外延反应器系统包含反应器、冷却回路及控制器。所述反应器包含：反应腔室，其具有上壁及下壁；上模块，其定位于所述上壁上方；及下模块，其定位于所述下壁下方。所述冷却回路包含：鼓风机，其用以使流体在所述上模块及所述下模块内循环；及阻尼器，其可选...
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