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本技术属于晶圆加工设备技术领域，涉及一种固定装置。固定装置包括：圆盘；支撑件，多个支撑件固定设置在圆盘上；第一限位件，第一限位件固定设置在圆盘上，多个第一限位件间隔设置于圆盘同心的圆周上；第二限位件，第二限位件滑动连接在圆盘上；工件与圆盘同...
该专利属于安徽光智科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽光智科技有限公司授权不得商用。

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