下载栅下具有横向扩散埋层的LDMOS器件的技术资料

文档序号:4207072

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本发明公开了一种栅下具有横向扩散埋层的LDMOS器件,包括半导体本体以及半导体本体上的栅,所述半导体本体于栅的下方设有第一导电型掺杂沟道区,所述第一导电型掺杂沟道区的下方设有第一导电型横向扩散埋层。本发明在有效抑制LDMOS器件中短沟道效应...
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