下载一种芯片上料设备及芯片测试系统的技术资料

文档序号:42058077

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本发明提供了一种芯片上料设备及芯片测试系统,涉及半导体测试技术领域。承载组件安装在安装板上,安装板上设有至少一个第一配合件,限位组件包括可拆卸地安装在安装板上的底板和顶板,底板和顶板之间限定有用于对晶圆进行限位的限位空间,底板的底部设有至少...
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