温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种晶圆终点在线检测抛光设备及晶圆在线检测方法，其中抛光设备包括：抛光盘，第一通孔；第一透光部；抛光垫，第二通孔，第二通孔包括第一孔段和第二孔段，第二孔段在抛光垫的径向方向上的宽度大于第一通孔的宽度；第二透光部。第二孔段在抛光垫的...
该专利属于北京特思迪半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京特思迪半导体设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。