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基板的清洗装置与清洗方法制造方法及图纸
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文档序号:42035165
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本公开涉及一种基板的清洗装置与清洗方法,基板的清洗装置包括清洗机构以及擦拭机构。擦拭机构包括放卷组件、收卷组件以及连接放卷组件与收卷组件的卷料。放卷组件用于对其上缠绕的卷料进行放卷操作,收卷组件用于对卷料进行收卷操作。先通过清洗机构对待清洁...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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