下载用阳极氧化铝模板实现半导体材料上图形转移的方法的技术资料

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一种利用多孔氧化铝模板实现半导体材料上图形转移的方法,包括如下步骤:1:取一铝片,清洗和抛光;2:利用阳极氧化铝的方法在铝片上第一次阳极氧化,制作多孔氧化铝膜;3:将第一次阳极氧化形成的多孔氧化铝膜溶解掉;4:利用阳极氧化铝的方法在铝片上第...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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