温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种电感耦合线圈及电感耦合等离子体发生装置，属于半导体加工制造领域。所述线圈包括至少一个多匝数的绕组，并在绕组的输出端串联接入一段电感，电感上具有一个可移动的电导体滑块，电感通过电导体滑块接地，用于改变线圈上的电流分布。所述装置...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。