下载接合装置及接合方法的技术资料

文档序号:42014611

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本发明提供一种能够在提高多个处理头的处理自由度的同时缩短节拍时间的接合装置及接合方法。本发明提供一种接合装置,执行用于将电子零件接合于具有第一区块及第二区块的一个或多个基板中的接合区域的规定的处理,包括:搬送台,沿着行方向搬送一个或多个基板...
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