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本技术提供一种用于MOCVD设备的旋转系统及MOCVD设备，该旋转系统包括：桶状壳体，与反应腔本体连接，且桶状壳体用于封堵反应腔本体的底部敞口，桶状壳体包括顶板及周向侧壁，周向侧壁上具有环形槽，环形槽将桶状壳体的上半部周向侧壁分隔为上半部内...
该专利属于北京沁圆半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京沁圆半导体设备有限公司授权不得商用。

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