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本技术公开了一种晶圆热处理设备用磁浮旋转装置，包括晶圆热处理设备内部设置的反应腔，所述反应腔的内部设有石英腔，所述石英腔内设有一个用于放置晶圆片的磁浮旋转装置，所述磁浮旋转装置包括电磁铁和悬浮载台，所述电磁铁设置于石英腔的下腔体内，所述悬浮...
该专利属于鑫德斯特电子设备（安徽）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鑫德斯特电子设备（安徽）有限公司授权不得商用。

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