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本申请提供了一种体声波滤波器谐振空腔的制备方法，该制备方法包括：形成压电层组；提供衬底；在所述压电层组与所述衬底之间键合高分子薄膜以形成高分子薄膜隔离层，其中，所述高分子薄膜上预设有通孔，键合完成后在所述通孔处形成由所述高分子薄膜隔离层、所...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

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