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本发明涉及一种半导体晶片的传输装置，包括依次连接的前端开启装置、大气传输单元和负载锁闭器，其中所述大气传输单元包括取放晶片的大气机械手，所述大气传输单元还包括至少一个与所述大气机械手活动范围相适配的缓存器。本发明还涉及一种半导体晶片的传输方...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。