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半导体异质集成界面热阻调控方法技术
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文档序号:41999688
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本发明公开了一种半导体异质集成界面热阻调控方法,包括:步骤1、根据漫散射失配模型建立第一材料和第二材料之间的界面热阻与声子色散的函数关系;步骤2、获取第一材料和第二材料在不同晶向下的声子色散关系,并将其输入到步骤1中的函数关系中进行迭代计算...
该专利属于武汉大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉大学授权不得商用。
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