下载含硅膜形成用组合物、以及使用其的制造含硅膜的方法的技术资料

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[问题]提供一种与基板的亲和性高的含硅膜形成用组合物。[解决方案]一种含硅膜形成用组合物,包含:(I)具有含有特定重复单元的聚硅烷骨架的聚合物,(II)具有不饱和烃键的硅化合物,以及(III)溶剂。...
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