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本申请公开了一种用于多晶片清洗的花篮，涉及半导体加工技术领域，包括花篮主体以及花篮手柄；其在花篮主体上设置多个绕花篮手柄圆周分布的清洗工位，实现一次性可以进行多个晶片的清洗，提高清洗效率。每个清洗工位设有对应容置晶片的凹槽，利用凹槽来对晶片...
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