温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开的实施例提供一种吹气承片装置、光刻装置及光刻方法，吹气承片装置包括：吹气承片台，被配置为承托基片，吹气承片台表面为平面，平面被划分为至少一个场区，每个场区用作曝光场和/或压印场；场区内设置有多个贯穿吹气承片台的通气孔；通气控制组件，通...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。