下载一种双通道光谱能量调谐滤光片的技术资料

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一种双通道光谱能量调谐滤光片,其特征在于:在基底层镀上一层均匀二氧化铪膜层,二氧化铪膜层上镀上一层光刻胶并烘干,再在光刻胶层上用曝光和显影技术制作高低折射率材料为光刻胶和入射媒质的光栅,即得到双通道光谱能量调谐滤光片。通过调节方位角可以实现...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。

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