一种双通道光谱能量调谐滤光片制造技术

技术编号:4199148 阅读:283 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种双通道光谱能量调谐滤光片,其特征在于:在基底层镀上一层均匀二氧化铪膜层,二氧化铪膜层上镀上一层光刻胶并烘干,再在光刻胶层上用曝光和显影技术制作高低折射率材料为光刻胶和入射媒质的光栅,即得到双通道光谱能量调谐滤光片。通过调节方位角可以实现在双通道调谐反射光谱能量。本发明专利技术实施方便、窄带光谱,可广泛应用于光学仪器、光学探测、光学测量及生物医学等领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种双通道光谱能量调谐滤光片,具体涉及到利用调节方位角得到双通道调谐反射光谱能量的能量调谐滤光片,可应用于光学仪器、光学探测、光学测量及生物 医学等

技术介绍
光学滤光片器件具有广泛的应用领域,例如在生物学研究领域,所需要的光谱通 常是由光源经过光学滤光片得到,长期研究结果已经清楚地表明通过光学滤光片得到的 光谱光学参数对生物的生长发育产生关键作用,光谱可以影响生物生长、控制生物发育转 变。但迄今为止,由于无法通过现有的实验仪器和手段获得光谱能量可调的光源,研究者仍 不能精细地调控和设定实验过程所需要的光谱参数,因此制约着光生物学精确定量研究和 深入开展,所以,光学滤光片器件对于生物学中与光谱参数相关科学技术研究,是一个至关 重要的器件。在先技术中有一种红外线吸收滤光片,中国专利技术专利"红外线吸收滤光片",专 利号ZL00135776.X。该滤光片具有很多优点,但是,仍然存在一些本质不足1)通过此红 外线吸收滤光片得到的光谱,其光谱参数无法调节,滤光片灵活性差;2)滤光片实施复杂, 并且光谱带宽较宽,限制了滤光片的使用范围。
技术实现思路
为克服现有技术的上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双通道光谱能量调谐滤光片,其特征在于:在基底层镀上一层均匀二氧化铪膜层,二氧化铪膜层上镀上一层光刻胶并烘干,再在光刻胶层上用曝光和显影技术制作高低折射率材料为光刻胶和入射媒质的光栅,即得到双通道光谱能量调谐滤光片。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王琦张大伟高秀敏黄元申倪争技庄松林
申请(专利权)人:上海理工大学
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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