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本技术提供一种预防晶圆膜撕裂的装置，包括机架；下轨道组件沿着晶圆的传递方向安装在机架的两侧上；上轨道组件平行设置在下轨道组件的上方，在上轨道组件和下轨道组件之间形成晶圆传递的空间，且下轨道组件顶部和上轨道组件底部之间存在间隙；支撑座通过弹簧...
该专利属于海太半导体（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海太半导体（无锡）有限公司授权不得商用。

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