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本发明提供一种偏转装置，用于带电粒子束描绘装置，能够高准确度地校正因试样的带电效应导致的带电粒子束位置偏移。具备：偏转器，使向载物台上的试样照射的带电粒子束偏转；位置偏移量分布计算构件，根据被照射了带电粒子束的照射区域的带电量分布、以及不被...
该专利属于纽富来科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过纽富来科技股份有限公司授权不得商用。

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