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本公开提供一种静电保持盘、基板处理装置以及静电保持盘的制造方法，能够抑制支承的基板的损伤。静电保持盘具备支承基板的支承面。所述支承面通过形成为相同高度的多个突起部在面方向上排列而构成。在所述多个突起部的至少最顶部具有被实施研磨而成的研磨部，...
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