静电保持盘、基板处理装置以及静电保持盘的制造方法制造方法及图纸

本公开提供一种静电保持盘、基板处理装置以及静电保持盘的制造方法，能够抑制支承的基板的损伤。静电保持盘具备支承基板的支承面。所述支承面通过形成为相同高度的多个突起部在面方向上排列而构成。在所述多个突起部的至少最顶部具有被实施研磨而成的研磨部，所述最顶部用于所述基板进行接触。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种静电保持盘、基板处理装置以及静电保持盘的制造方法。

技术介绍

1、在专利文献1中公开有一种在真空容器(处理容器)的内部支承基板的静电保持盘。该静电保持盘的保持盘板构成为由有机硅等电介质树脂构成的弹性体。另外，保持盘板的上表面通过被实施压花加工而具有多个凸部(突起部)。

2、或者，基板处理装置也有时应用不具备多个突起部而具有平坦状的支承面的静电保持盘。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：国际公开第2020/115952号

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、本公开提供一种能够抑制支承的基板的损伤的技术。

3、用于解决问题的方案

4、根据本公开的一个方式，提供一种静电保持盘，所述静电保持盘具备支承基板的支承面，所述支承面通过形成为相同高度的多个突起部在面方向上排列而构成，在所述多个突起部的至少最顶部具有被实施研磨而成的研磨部。

5、专利技术的效果

6、根据一个方式，能够抑本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种静电保持盘，具备支承基板的支承面，

2.根据权利要求1所述的静电保持盘，其中，

3.根据权利要求1或2所述的静电保持盘，其中，

4.根据权利要求3所述的静电保持盘，其中，

5.根据权利要求1或2所述的静电保持盘，其中，

6.根据权利要求1或2所述的静电保持盘，其中，

7.一种基板处理装置，用于平板显示器，所述基板处理装置包括：处理容器，其对平板显示器用基板进行基板处理；以及静电保持盘，其设置于所述处理容器的内部，所述静电保持盘具备支承所述平板显示器用基板的支承面，

8.一种静电保持盘的制造方法，所...

【技术特征摘要】

1.一种静电保持盘，具备支承基板的支承面，

2.根据权利要求1所述的静电保持盘，其中，

3.根据权利要求1或2所述的静电保持盘，其中，

4.根据权利要求3所述的静电保持盘，其中，

5.根据权利要求1或2所述的静电保持盘，其中，

6.根据权利要求1或2所述的静电保持盘，其中，

7.一种基板处理装置，用于平板显示器，所述基板处理装置包括：处理容器，其对平板显示器用基板进行基板处理；以及静电保持盘，其设置于所述处理容器的内部，所述静电保持盘具备支承所述平板...

【专利技术属性】
技术研发人员：南雅人，渡边知弥，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：