下载一种温和氟化改性纳米多孔吸附剂的制备方法的技术资料

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本发明公开了一种温和氟化改性纳米多孔吸附剂的制备方法。该方法通过温和的氟化剂,将氟原子通过原子沉积法沉积在纳米多孔吸附剂表面,形成稳定的钝化层。经过氟化改性的纳米多孔吸附剂,稳定性大大增加,能够耐受F2、HF等腐蚀性极强的气体,适用于工业气...
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