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本发明涉及碳化硅晶片加工领域，具体是再造金刚石研磨液和废弃金刚石研磨液的回收再利用方法及应用该方法的装置。本发明提供的再造金刚石研磨液，其包括添加剂和废弃金刚石研磨液；所述添加剂选自分散剂或者润滑剂中的一种或多种；所述添加剂的临界胶束浓度为...
该专利属于江苏天科合达半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏天科合达半导体有限公司授权不得商用。

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