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本发明提供一种成膜装置，包括：旋转台，具有载置基板的基板载置区域；真空容器，具有收纳旋转台的容器主体和气密地堵在该容器主体上表面上的顶板；开闭顶板的开闭机构；多个反应气体喷嘴，被支承在外周壁上，设置成贯穿真空容器的容器主体的外周壁而与基板载...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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