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本发明公开了一种光刻设备和一种洛伦兹致动器。光刻设备包括用于在第一和第二部分之间在第一方向上产生力的致动器，该致动器包括每一个彼此相对地连接到所述设备的第一部分的第一磁体组件和第二磁体组件，第一磁体组件包括第一主磁体系统和第一辅助磁体系统，...
该专利属于ＡＳＭＬ荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＡＳＭＬ荷兰有限公司授权不得商用。

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