下载一种半导体器件及其制备方法的技术资料

文档序号:41930103

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本发明实施例公开了一种半导体器件及其制备方法,半导体器件包括衬底;位于所述衬底一侧的外延结构;位于所述外延结构远离所述衬底一侧的多个栅极,所述栅极沿第一方向延伸,多个所述栅极沿第二方向排列;所述第一方向和所述第二方向相交且均与所述衬底所在平...
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