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本公开提供一种晶圆检测系统。晶圆检测系统包括检测系统、卡盘装置、传输系统和控制系统。检测系统用于检测竖直状态下的晶圆；卡盘装置用于使晶圆保持在竖直状态下以供检测系统检测；传输系统用于向卡盘装置递送待检测晶圆以及从卡盘装置中接收已检测晶圆；控...
该专利属于南京中安半导体设备有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京中安半导体设备有限责任公司授权不得商用。

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