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一种用于极紫外线反射型光罩的薄膜及其制造方法，用于极紫外线(extreme ultraviolet,EUV)反射型光罩的薄膜包括附接至框架的膜。此膜包括多个纳米管束，各纳米管束包括多个由第一纳米管材料制成并结合在一起的多壁纳米管，以及在多个...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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