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本申请提供了一种用于半导体反应腔的基座调节装置，包括依次设置在基座下方的升降机构和基座调整机构，升降机构包括升降组件和结合件，升降组合和结合件都与升降杆可活动连接，该升降机构通过设置第一升降板、第二升降板和弹性件，使得基座在上升过程中的机械...
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