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本申请公开了一种晶圆盒、晶圆存放方法及取晶圆方法，晶圆盒包括壳体，以及设置于所述壳体内用于存放晶圆的承载机构；所述承载机构包括：支撑座，与所述壳体连接；第一载物块，可滑动地与所述支撑座连接；第二载物块，可滑动地与所述支撑座连接，并且与所述第...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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