下载硅片分选机上料出片机构和硅片分选机的技术资料

文档序号:41891208

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本技术涉及硅片生产设备领域,提供一种硅片分选机上料出片机构和硅片分选机,包括运输机构、下料感应器和出料感应器。运输机构用于盛接下料机构底部的硅片,并沿第一方向将硅片转移至下一工序。下料感应器设置在运输机构上,用于感应上方是否有硅片会硅片的碎...
该专利属于三一硅能(朔州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三一硅能(朔州)有限公司授权不得商用。

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