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竖直型存储器件制造技术
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文档序号:41882163
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一种竖直型存储器件,包括第一柱结构,在字线模制件内部的沟道孔中;以及第二柱结构,在串选择线模制件内部与沟道孔重叠的串选择线孔中。第一柱结构包括:第一栅极绝缘层和单元沟道层,在沟道孔的内壁上;可变电阻层,在单元沟道层的一侧上;第一填充绝缘层,...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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