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半导体装置和包括该半导体装置的电子系统制造方法及图纸
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下载半导体装置和包括该半导体装置的电子系统的技术资料
文档序号:41882040
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提供了一种半导体装置和一种电子系统。该半导体装置包括:交替地堆叠在衬底的上表面上的栅极层和下绝缘层、穿过栅极层和下绝缘层并在竖直方向上延伸的沟道结构、设置在沟道结构上的串选择栅极层、穿过串选择栅极层并在竖直方向上延伸的串选择沟道结构、以及设...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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