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场效应晶体管和包括该场效应晶体管的集成电路装置制造方法及图纸
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下载场效应晶体管和包括该场效应晶体管的集成电路装置的技术资料
文档序号:41882026
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提供场效应晶体管和集成电路装置,场效应晶体管包括:在衬底上的绝缘阻挡层;在绝缘阻挡层上延伸的栅电极;覆盖栅电极的相对侧表面和顶表面的栅极绝缘层;在栅极绝缘层上并包括选自铟(In)和锌(Zn)中的至少一种金属元素的氧化物半导体层;以及彼此分离...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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