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文档序号:41882005
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一种半导体装置,包括:鳍状图案;场绝缘膜,该场绝缘膜覆盖鳍状图案的侧壁;源极/漏极图案,该源极/漏极图案设置在鳍状图案的上表面上;源极/漏极蚀刻停止膜,该源极/漏极蚀刻停止膜沿着场绝缘膜的上表面和源极/漏极图案的侧壁延伸;源极/漏极接触,该...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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