下载半导体装置的技术资料

文档序号:41882005

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体装置,包括:鳍状图案;场绝缘膜,该场绝缘膜覆盖鳍状图案的侧壁;源极/漏极图案,该源极/漏极图案设置在鳍状图案的上表面上;源极/漏极蚀刻停止膜,该源极/漏极蚀刻停止膜沿着场绝缘膜的上表面和源极/漏极图案的侧壁延伸;源极/漏极接触,该...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。