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本发明涉及一种晶片沉积设备的颗粒清除装置及方法，包括：工艺腔室，配置有吸盘、升降装置与花洒头，所述吸盘固定晶片，所述升降装置升降所述吸盘；传送腔室，配置有机械臂，所述机械臂传送所述晶片；闸门，设置在所述工艺腔室与所述传送腔室之间；吹扫阀门，...
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