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本申请公开了一种屏蔽栅功率晶体管及其制备方法，包括衬底、外延层，设置于衬底上，包括背向衬底一侧的第一表面，以及沿第一表面分布的多个元胞部，元胞部内形成有屏蔽栅结构和控制栅结构，其中，控制栅结构包括控制栅和形成于控制栅的阻容部，屏蔽栅结构包括...
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