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一种金刚石复合散热基板的制备方法，本发明是为了解决不同热流密度区域对散热要求不同的问题。制备方法：一、使用激光在多晶金刚石衬底的高热流密度区域切割出通孔；二、在MPCVD装置的舱体中，控制甲烷、氢气和氧气流量，在CVD单晶晶种上化学气相沉积...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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