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本发明公开了一种等离子发射装置、等离子体处理装置。其中等离子发射装置，包括射频电力分配电路和至少一个等离子天线，等离子天线包括至少两个天线部，所述天线部按序排布，使得所述等离子天线呈螺旋状；每个天线部串联一与该天线部一一对应设置的阻抗调节电...
该专利属于创微微电子（常州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过创微微电子（常州）有限公司授权不得商用。

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