温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种冷却腔室、晶圆冷却方法以及半导体工艺设备，包括：腔体，腔体内部包括冷却空间；基座，设置于冷却空间中，用于承载托盘；第一冷却结构，设置于基座中，用于对置于基座上的托盘进行冷却；第二冷却结构，设置于冷却空间中，且位于基座上方，用于...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。