下载MEMS麦克风和电子设备的技术资料

文档序号:41870541

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本发明公开了一种MEMS麦克风和电子设备,该MEMS麦克风包括基板、壳体、MEMS芯片、ASIC芯片、网状结构层和不透气盖板,基板开设有声孔;壳体与基板连接并围成容纳腔,声孔处设置防水不透气膜,壳体开设第一泄气孔;MEMS芯片面向声孔设置;...
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