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MEMS麦克风和电子设备制造技术
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文档序号:41870541
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本发明公开了一种MEMS麦克风和电子设备,该MEMS麦克风包括基板、壳体、MEMS芯片、ASIC芯片、网状结构层和不透气盖板,基板开设有声孔;壳体与基板连接并围成容纳腔,声孔处设置防水不透气膜,壳体开设第一泄气孔;MEMS芯片面向声孔设置;...
该专利属于歌尔微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔微电子股份有限公司授权不得商用。
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