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包括阳极多孔氧化物区域的集成装置及其制造方法制造方法及图纸
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下载包括阳极多孔氧化物区域的集成装置及其制造方法的技术资料
文档序号:41860147
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公开了包括阳极多孔氧化物区域的集成装置及其制造方法。制造包括阳极多孔氧化物区域的集成装置的方法包括:在基板上形成金属阳极氧化屏障层;使该金属阳极氧化屏障层平坦化;在平坦化的金属阳极氧化屏障层(201P)上形成可阳极氧化金属层;使该可阳极氧化...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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