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本发明公开了一种控压阀的阀门控制参数的确定方法及其相关产品。其中所述控压阀为半导体刻蚀设备工艺腔的压力控制阀，确定方法包括：在通过当前待确定的阀门控制参数控制控压阀时，在多种刻蚀工艺条件中的任一种刻蚀工艺条件下，获取在预设时间段内以周期性方...
该专利属于北京中科九微科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科九微科技有限公司授权不得商用。

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