下载包括具有可变宽度的字线的半导体集成电路器件的技术资料

文档序号:41855110

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一种半导体集成电路器件,其包括半导体衬底、有源区以及字线。有源区由形成在半导体衬底中的隔离区限定。有源区包括至少一个接触区。字线包括主栅极和旁通栅极。主栅极被布置在有源区中。旁通栅极位设成远离主栅极。旁通栅极位处于隔离区中。接触区被布置在主...
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